2026年9月30日晚间，国内湿法清洗设备龙头盛美上海（688082）发布自愿性公告称，截至2026年9月29日，公司在手订单总金额达到170.73亿元，与上年同期自愿性披露的在手订单金额相比同比增加88.20%。这一接近翻倍的订单规模，在三季度业绩预告密集披露的节点格外引人关注，也从侧面印证了国内晶圆厂扩产与湿法设备采购仍处于高景气区间。进入10月，随着半导体设备三季报陆续发布，清洗与湿法环节的订单能见度成为市场判断行业冷热的重要风向标。
订单高增背后：湿法设备矩阵持续扩容
从产品结构看，清洗设备之所以能在这一轮扩产中率先受益，是因为其单机价值量与国产化率之间存在错配：一方面单片清洗、电镀、无应力抛光等设备单价较高，单座新产线的湿法设备采购规模可观；另一方面，国内厂商已在成熟制程实现批量验证，正向先进制程稳步渗透。盛美上海能够在短短一年内将在手订单推高近九成，正是这种国产替代窗口期与下游扩产周期叠加的结果。市场普遍将其订单数据视作国内湿法设备行业景气度的先行指标，并据此外推清洗、甩干、干燥等细分环节的全年表现。
盛美上海的主力产品涵盖单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备以及PECVD设备等。其中单片清洗设备长期是公司的立身之本，也是全球少数几家能在高端清洗环节与国际巨头同台竞争的中国厂商。在手订单快速攀升，说明下游晶圆厂无论是先进逻辑、存储还是功率器件产线，都在持续采购湿法装备。公司临港厂区已有两座工厂，厂A已投产并达到满产状态，厂B已于2026年开始装修、计划年底完成装修并投入生产，两座厂房全部投产后整体年产值可达约200亿元，为后续订单交付提供了产能支撑。
维持全年营收指引，设备出货增速快于收入
在9月16日的活动上，盛美上海董事、总经理王坚表示，综合考虑近年来的业绩发展趋势、现有订单情况和整体经营情况，公司持续维持2026年全年营业收入82亿元至88亿元的业绩指引不变，同时预计2026年全年设备出货增速将持续快于营业收入增速。公司近期还披露了面板级水平式电镀量产设备获得订单的消息，显示其产品线正在从清洗向电镀、先进封装等相邻湿法领域延伸。订单先行、出货随后的节奏，意味着四季度乃至明年上半年的湿法设备交付仍有较强保障。
对国产清洗设备链的启示
在手订单被视作半导体设备行业最直观的先行指标之一。盛美上海订单同比大增近九成，反映出晶圆厂资本开支并未因短期波动而收缩，反而在AI算力、国产替代与成熟制程扩产的多重驱动下保持韧性。清洗与甩干作为晶圆制造中步骤最多、复购率最高的湿法环节，直接受益于新产线建设与存量产线升级。对于正在推进国产化替代的国内湿法装备厂商而言，龙头订单的高景气，意味着整条清洗、甩干、干燥设备链都处于需求扩张通道之中。
在国产清洗与甩干设备领域，河北中科微电子有限公司位于河北省邯郸市复兴区，长期专注于晶圆清洗机、甩干机、检测设备等半导体湿法工艺装备的国产化替代，产品包括全自动单片晶圆清洗机、12英寸单片清洗甩干机（SG-8-12-2D）、EFEM专用清洗甩干系统、晶圆下片台及防水型真空吸笔等，可与单片清洗产线、CMP后清洗及先进封装清洗需求配套。如需了解单片清洗与甩干设备选型及国产替代方案，欢迎咨询热线：17177768881。
