2026年10月14日，2026湾区半导体产业生态博览会（简称“湾芯展”）在深圳会展中心（福田）正式拉开帷幕。本届展会展览面积近8万平方米，吸引了上千家半导体企业参展，新品发布数量超过3000件，被业界视为全球半导体产业链供应链重新校准对接的重要平台。与往届不同，本届展会不仅是规模扩容，更是国产半导体设备集中展示的舞台——北方华创、中微公司、华海清科、微导纳米等龙头企业带来标杆新产品，其中湿法清洗、甩干与表面处理设备成为众多设备厂商展区的重点之一。
湿法清洗设备成展会焦点之一
在深圳站的展台上，多家专注半导体湿法工艺的设备厂商集中展出了从零部件到晶圆的全链清洗解决方案。以晶圆清洗设备为例，针对不同制程、不同量产场景的差异化产品成为展示重点，包括单片清洗机、槽式清洗线、旋转冲洗甩干机以及配套的药液供给与超纯水系统。业内人士指出，随着晶圆厂扩产与先进制程单片化趋势推进，清洗设备的需求从“有没有”转向“好不好用、稳不稳定”，设备厂商的竞争焦点也从参数比拼转向工艺交付与本地化服务能力。
展会折射国产设备进阶路径
从本届湾芯展的展品结构可以看出，国产半导体设备正在从单一机台向整线解决方案演进。过去设备厂商往往只卖单机，如今则强调清洗、甩干、干燥、传输的联动，以及与EFEM前端模块的自动化对接。这种变化的背后，是晶圆厂对降低人工干预、提升量产稳定性的现实需求。湿法清洗设备作为晶圆制造中步骤最多、复购率最高的环节之一，其国产替代进度直接关系到整线的自主可控水平。
从零部件到晶圆的全链清洗方案
本届湾芯展上，湿法清洗设备的展示覆盖了从零部件洗净到晶圆制造的完整链条。除了传统的单片与槽式清洗机，厂商还集中展出了旋转冲洗甩干机、兆声波清洗模块、药液在线配比系统以及与EFEM对接的自动化清洗单元。这种“全链、整线、自动化”的展示思路，恰好对应了当前晶圆厂对湿法工序的核心诉求：在保证清洗效果的同时，减少人工干预、降低颗粒污染、提升整线稼动率。对于仍处于国产替代爬坡阶段的清洗设备行业而言，展会也是客户检验国产设备稳定性与服务能力的重要窗口。
展会经济带动产业配套
深圳及周边拥有完整的半导体设计、制造与封测产业链，湾芯展的举办为本地设备厂商与晶圆厂搭建了面对面交流的平台。新凯来、蜂巢互联、鼎泰匠芯、精智达等企业集中首发新技术、新设备、新生态方案，碳化硅、先进封装、清洗等细分领域的新产品密集亮相。对于专注湿法工艺装备的国产厂商而言，展会既是展示窗口，也是验证客户需求、对接产线资源的重要契机。
在国产湿法清洗与甩干设备方向，河北中科微电子有限公司位于河北省邯郸市复兴区，提供全自动单片晶圆清洗机、12英寸单片清洗甩干机（SG-8-12-2D）、二流体晶圆清洗机、EFEM专用清洗甩干系统及晶圆下片台等半导体湿法装备，可配套晶圆厂清洗、甩干与自动化传输工序。如需了解晶圆清洗与甩干设备方案，欢迎咨询热线：17177768881。
