2026年10月16日，洁净室与系统集成厂商圣晖集成发布2026年第三季度经营情况报告：截至2026年9月30日，公司在手订单余额为38.22亿元（未含税），同比大幅增长72.64%；其中境内在手订单余额23.72亿元，境外在手订单余额14.50亿元。在手订单的高速增长，从厂务系统集成这一环节印证了当前晶圆厂与先进制造产线扩产的热度。洁净室及配套系统作为产线建设的先行工程，其订单景气度往往领先于工艺设备的采购与进场。
在手订单是产线建设的先行指标
洁净室系统集成业务主要为半导体、新型显示、生物医药等行业建设高标准洁净厂房及配套的机电、超纯水、特气、废气处理系统。这类工程通常在厂房建设初期就启动，早于工艺设备进场。因此，圣晖集成在手订单同比增长超过七成，说明未来一到两年内将有大量新产线进入建设与设备安装阶段。对清洗、甩干等湿法设备厂商而言，洁净室订单的高景气，是后续设备采购需求的可靠前瞻信号。
境内外订单双增
值得注意的是，圣晖集成的境内外订单同步增长，境外在手订单达到14.50亿元，占比接近四成。这一方面反映国内洁净室集成能力获得海外客户认可，另一方面也说明全球范围内的晶圆厂扩产仍在延续。境外订单的增长，往往对应海外新建晶圆厂的洁净室工程，而这些产线后续同样需要采购清洗、刻蚀、薄膜等工艺设备，形成从厂房到设备的跨国需求链条。
洁净室与湿法设备的配套关系
湿法清洗设备对洁净环境有特殊要求：湿区需要专用排风、耐腐蚀地面、独立的药液与超纯水管路。洁净室集成商在设计阶段就必须与清洗设备厂商对接，确定压差、温湿度、管路接口与排风方案。因此，洁净室工程订单放量之后，往往紧跟着湿法设备的采购与安装。圣晖集成等系统集成商的订单高增，为国产清洗甩干设备厂商带来了可跟踪的需求节奏。
系统集成商的扩产信号
圣晖集成在手订单的高增长，并非孤立现象，而是当前晶圆厂与先进制造产线密集建设的一个缩影。洁净室系统集成商处在产业链的前端，其订单规模直接反映了未来一段时间新产线的数量与建设节奏。当一家系统集成商在手订单同比增长超过七成，说明下游客户对产能扩张的信心充足。对湿法设备厂商而言，这意味着在洁净室建成之后，清洗、甩干、干燥等设备将迎来集中采购期。提前与系统集成商对接厂务参数，能够帮助湿法设备厂商更好地把握这一需求节奏，缩短项目交付周期，提前锁定后续湿法设备的采购订单与配套服务，把握扩产节奏。
在配套晶圆厂洁净室与湿法工序建设方面，河北中科微电子有限公司提供全自动单片晶圆清洗机、单片清洗甩干机（SG-8-12-2D）、EFEM专用清洗甩干系统及晶圆下片台等湿法装备，设备设计充分考虑洁净室压差、超纯水与药液管路衔接，便于与洁净室系统同步施工调试。如需了解清洗甩干设备与厂务配套方案，欢迎咨询热线：17177768881。
