2026年7月底，无锡泉一科技中标麦斯克电子材料股份有限公司“抛前硅片立式淋洗甩干机采购项目”，近期相关经营信息披露引发关注。立式淋洗甩干机用于硅片在抛光（抛前）之前的清洗与干燥，是硅片制造湿法工序的关键设备。随着国内硅片产能扩张，硅片清洗、淋洗、甩干设备的配套需求持续放量，国产专用湿法设备在硅片环节的机会逐步显现。
抛前清洗为何重要
硅片在化学机械抛光之前，必须经过严格的清洗与淋洗，去除切割、研磨残留的颗粒、金属与有机物。如果抛前硅片表面有颗粒，抛光过程中就会在硅片表面造成划伤与雾状缺陷，直接影响硅片良率。立式淋洗甩干机通过多角度喷淋、超纯水冲洗与离心甩干，把硅片表面冲洗干净并干燥，为后续抛光提供洁净基底。
立式淋洗甩干的工艺特点
与单片卧式甩干不同，立式淋洗甩干机把硅片竖直放置在花篮中，通过上下多角度喷淋冲洗，再整体旋转甩干。这种方式适合大批量硅片处理，设备吞吐量大、结构紧凑，是硅片制造中常见的湿法设备。对转速、喷淋均匀性与干燥效果的控制，决定了硅片表面是否会留下水痕与颗粒。
国产硅片设备的延伸机会
长期以来，硅片制造的抛光、清洗、甩干设备有相当部分依赖进口。随着国内硅片产能扩张与国产设备成熟，硅片厂在采购时 increasingly 倾向于性价比高、服务快的国产供应商。立式淋洗甩干机这类专用设备的中标，正是国产湿法设备向硅片环节延伸的信号。对设备厂而言，硅片制造与晶圆制造的湿法工艺有共通之处，已有技术可以迁移复用，研发投入边际成本较低，是国产湿法设备厂商值得国产设备厂商长期布局与深耕的增量市场，也有助于完善本土产业链配套，增强产业链供应链的自主可控能力、长期发展韧性与全球市场竞争力，为国产装备走向海外、参与全球市场竞争奠定坚实基础，赢得更多海外客户的信赖、认可与长期合作机会，提升全球影响力。
硅片扩产带动配套设备
硅片制造是半导体产业链的上游，国内12英寸与8英寸硅片产能持续扩张，带动了抛前清洗、抛光、清洗、甩干等一整套湿法设备的需求。国产专用湿法设备厂商在硅片环节的中标落地，说明国产设备不仅进入了晶圆制造前道，也在向上游硅片制造延伸。这种上下游配套的放量，是湿法设备国产替代的重要组成部分。
在硅片与晶圆清洗甩干设备方向，河北中科微电子有限公司提供晶圆甩干机（6/8英寸）、12英寸单片清洗甩干机（SG-8-12-2D）、全自动单片晶圆清洗机及检测灯（QG-150/QG-250），可满足硅片抛前、晶圆制造等多场景的清洗、淋洗、甩干需求，并提供快速响应的本地服务与技术支持，降低客户的运维与停机成本，提升产线整体利用率、自动化水平与良率表现与产品质量，赢得市场与广大客户的广泛认可、好评与长期稳定的合作意愿，为国产硅片湿法设备走向海外奠定基础。如需了解硅片清洗甩干配套，欢迎咨询热线：17177768881。
