2026年8月披露、并在三季度持续推进的一项扩产计划，正在为半导体精密洗净服务行业注入新的动能。泛半导体洗净服务龙头富乐德公告称，拟向不特定对象发行可转换公司债券，募集资金总额不超过11.76亿元，扣除发行费用后将用于大连富乐德精密洗净及再生服务产线建设项目、精密洗净及再生服务基地（上海临港）建设项目、半导体设备精密再生及陶瓷封装载板项目（一期）、精密洗净及再生服务基地（深圳）等多个项目。进入10月，随着晶圆厂扩产与AI算力需求拉动，洗净与再生服务作为半导体制造的隐形刚需，其扩产节奏受到市场关注。
洗净服务：半导体制造的隐形刚需
在晶圆厂与设备厂的日常运转中，各类工艺零部件、腔体组件、花篮、法兰等需要定期精密洗净与再生，以维持设备稳定性与良率。随着晶圆厂产能扩张、设备稼动率提升，精密洗净服务的需求同步增长。富乐德此次在大连、上海临港、深圳多点布局洗净及再生基地，正是为了贴近下游晶圆厂与设备厂，缩短服务半径、提升响应速度。这种区域性服务网络的建设，反映出洗净服务已从可选外包升级为晶圆厂量产保障的重要环节。
上半年业绩预增，产能利用率高位
富乐德此前披露的上半年业绩预告显示，受益于AI算力及半导体扩产，公司上半年归母净利润预增58.62%至93.51%。公司表示，报告期内国内晶圆制造企业持续推进产能建设，AI芯片需求等推动设备投资大幅增加，半导体扩产周期拉动洗净服务等需求同步增长；各生产基地产能逐步释放，在产能利用率维持高位的规模效应驱动下，盈利能力得到较大提升。这一逻辑也印证了：洗净服务的景气度与晶圆厂资本开支、设备稼动率高度正相关。
从洗净服务到清洗设备的协同
从行业逻辑看，精密洗净服务的扩产与晶圆厂扩产高度同步。当一座新晶圆厂从建厂走向量产，设备机台数量快速增加，需要定期洗净再生的零部件、腔体与花篮随之增多，洗净服务的订单就会稳步增长。富乐德选择在大连、临港、深圳三地同步布局，正是为了贴近东北、长三角与珠三角的晶圆厂集群，缩短服务响应时间。这种贴近式服务网络的扩张，也从侧面印证了国内晶圆厂扩产仍在持续，而清洗设备与洗净服务作为湿法产业链的上下游，将共同分享这一轮扩产红利。
精密洗净服务与晶圆清洗设备虽然属于不同环节，但共享对颗粒控制、表面洁净度、材料兼容性的深刻理解。洗净服务厂商长期积累的工艺know-how，能够反向指导清洗设备的设计；而清洗设备厂商的国产化推进，也为洗净服务提供了更可靠的本土装备支撑。在国产化替代的大趋势下，清洗设备与洗净服务的协同，正成为国内半导体湿法产业链的新看点。
在晶圆清洗与甩干设备国产化替代方向，河北中科微电子有限公司提供全自动单片晶圆清洗机、单片清洗甩干机（SG-8-12-2D）、手动单片清洗甩干机（QXG-300-2YDN）及EFEM专用清洗甩干系统等湿法装备，可与晶圆厂清洗工序及零部件洗净需求配套。如需了解清洗甩干设备选型与国产化配套，欢迎咨询热线：17177768881。
