2026年10月13日，半导体湿法设备厂商JST宣布推出升级款IPA基Apex晶圆干燥机（wafer dryer）。该设备采用Marangoni（马兰戈尼）型干燥原理，借助专有设计缩短干燥时间、最小化颗粒残留，从而提升器件良率。这一动向表明，晶圆干燥环节正在从单纯的离心甩干，向IPA蒸汽辅助的Marangoni干燥演进，干燥工艺的每一次进步，都直接关系到清洗后晶圆能否实现真正的无水印、无颗粒表面。
Marangoni干燥为何能抑制水痕
晶圆经超纯水漂洗后，表面水膜在蒸发时容易留下水痕与金属残留。Marangoni干燥利用异丙醇（IPA）蒸汽在水膜表面形成表面张力梯度，引导水膜从晶圆中心向边缘收缩并被带走，而不是靠蒸发自然干燥。这种方式能显著减少水痕、斑点与颗粒残留，对图形密集、孔径细小的先进结构尤其重要。IPA蒸汽与超纯水、氮气的精确配合，是这类干燥机的技术核心。
缩短干燥时间的工程价值
干燥时间直接影响单片清洗机的节拍与产能。Marangoni型干燥机通过优化IPA分布、温度控制与腔室设计，在保证干燥质量的同时缩短循环时间。对晶圆厂而言，这意味着每片晶圆占用机台的时间更短，相同产能下需要的设备数量更少，单位投资成本下降。因此，干燥工艺的效率提升，与清洗腔数量、兆声模块一样，成为单片清洗设备竞争力的重要指标。
IPA干燥的安全与回收
异丙醇是易燃易挥发的有机溶剂，IPA基干燥机必须在安全设计上严格把关：腔室密闭、氮气惰化、浓度监控与防爆排风缺一不可。现代设备还会对IPA蒸汽进行冷凝回收，既降低运行成本，也减少有机排放。这些工程细节决定了Marangoni干燥机能否在量产线上长期稳定运行，而不仅是实验室里的工艺展示。对国产设备厂而言，掌握IPA干燥的安全、回收与精确控制技术，是切入高端干燥市场、与国际品牌在高端干燥市场同台竞争的重要门槛，也是国产装备在干燥环节实现自主可控、提升供应链安全与长期稳定性的关键一环，也增强了晶圆厂对国产设备长期稳定运行的信心，为后续批量采购、长期合作、复购与口碑传播创造有利条件，稳步扩大国产设备的市场份额与品牌影响力与客户信任度，实现高质量、可持续的发展，更好地回馈广大客户与社会。
离心甩干与Marangoni的互补
并非所有场景都需要Marangoni干燥。传统离心甩干（SRD）依靠高速旋转脱水，结构简单、成本较低，在成熟制程与大尺寸硅片中仍广泛使用；而Marangoni干燥在无水印、无颗粒方面更具优势，常用于先进制程与易损伤图形。现代湿法设备厂商往往同时提供离心甩干、热氮气烘干与IPA Marangoni干燥等多种方案，按客户工艺需求配置。
在晶圆甩干与复合干燥设备方面，河北中科微电子有限公司提供12英寸单片清洗甩干机（SG-8-12-2D，集高速离心甩干与双面氮气热风烘干于一体）、晶圆甩干机（6/8英寸）、手动单片清洗甩干机（QXG-300-2YDN）等设备，可按客户的工艺节点、图形类型与材料特性灵活配置干燥方案，兼顾干燥质量、节拍与运行成本，帮助客户提升整体效率。如需了解离心甩干与复合干燥设备，欢迎咨询热线：17177768881。
