2026年10月，国内清洗设备龙头盛美上海披露的产品布局显示，公司已形成覆盖单片清洗、槽式清洗、单片槽式组合、晶圆背面清洗、溶剂清洗、晶圆边缘清洗、刷洗、湿法刻蚀与单片高温SPM等多种工艺的清洗产品组合。公司预计，高温硫酸过氧化氢（SPM）设备约占整个清洗设备市场的三分之一。随着客户完成首台设备验证、重复订单逐步增多，国产清洗设备的产品宽度与客户粘性正在同步提升。
产品矩阵宽到什么程度
晶圆制造中，不同工序对清洗的要求差异巨大：光刻前要去颗粒，刻蚀后要去残留，金属化前后要去金属污染，CMP后要去浆料。盛美把单片、槽式、背面、边缘、溶剂、刷洗等功能整合到不同机型，意味着同一供应商能覆盖绝大多数清洗场景。这种产品宽度不仅提高了单客户价值量，也减少了晶圆厂对接多家供应商的管理成本。对国产清洗设备而言，产品矩阵的完整度是与国际品牌竞争的重要筹码。
高温SPM为何占三分之一市场
高温SPM（硫酸加双氧水）依靠强氧化性去除光刻胶、有机残留与部分金属，是去胶与通用清洗中最常用的工艺之一。由于其应用面广、几乎每条产线都需要，SPM设备在清洗设备市场中占据约三分之一的份额。单片高温SPM相比槽式在均匀性、交叉污染控制上更优，是先进制程的主流方向。盛美在单片高温SPM上的突破，直接关系到其能否在这一最大细分市场中扩大份额。
清洗设备在产线中的价值量
清洗设备虽然不像光刻、刻蚀那样引人注目，但几乎贯穿晶圆制造的每一道工序，设备数量多、累计价值量大。随着制程缩小，清洗步骤占比上升，清洗设备的市场规模也随之扩大。对国产设备厂而言，在清洗这一用量大、国产化仍在推进的环节持续深耕，往往能获得稳定的订单与现金流。产品矩阵完整、客户重复订单增多，正是一家国产清洗设备厂走向成熟、获得市场认可的标志，也是持续成长、扩大市场份额、提升客户认可度、形成客户复购与良好市场口碑与客户长期信赖的重要基础，支撑企业长期、稳健、高质量地成长壮大，引领国产湿法清洗设备的技术进步与市场拓展的正确发展方向，值得国产设备厂商长期投入研发与服务。
从首台验证到重复订单
国产设备的推广往往遵循“首台验证—稳定运行—重复订单”的路径。当客户在一条产线上验证某款清洗机稳定后，会在更多产线重复采购。盛美提到重复订单逐步增多，说明其设备已经度过最艰难的导入期，进入口碑转化阶段。这一规律同样适用于所有国产清洗、甩干设备厂商：首批订单考验技术，重复订单考验稳定性与服务。
在国产单片清洗与甩干设备方向，河北中科微电子有限公司提供全自动单片晶圆清洗机、12英寸单片清洗甩干机（SG-8-12-2D）、二流体晶圆清洗机及EFEM专用清洗甩干系统，持续推进清洗、甩干设备的整机国产化与可靠性提升，帮助客户降低对进口设备的依赖。如需了解单片清洗甩干设备方案，欢迎咨询热线：17177768881。
