1、设备概况
1.1应用领域：半自动单片清洗机是高洁净度清洗设备, 具有药液清洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特点，不同晶圆尺寸，可通过快速更换甩干头来实现。其主要用于兼容2-6寸晶圆半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的刷洗干燥工艺。具有成本低，快速应用生产等优点。
1.2名称：半自动单片清洗机
1.3型号：SQX-200-1Y1D
2、主要结构特征
半自动单片清洗机主要伺服电机，供药系统，PLC控制器，高洁净阀门，PFA管等部分组成。
2.1材质：进口PP板，能够满足洁净室工作环境。
2.2专用伺服电机，可实现每分钟0-5000转，低速均匀清洗，高速离心甩干。
2.3工业PLC控制器和人机界面，稳定可靠控制各个部件，直观可视化操作模式。
3、主要技术参数
项目 | 主要性能指标和参数 |
加工尺寸 | Mask5寸/7寸 |
单次甩干数量 | 1片 |
工位数量（个） | 1 |
机台上下片方式 | 手动上下片 |
旋转速度 RPM/MIN | 0-4000rpm可设定 |
清洗甩干时间 | 2-5min |
加速度 | 1000-10000 |
清洗方式上清洗 | 药液清洗 纯水清洗 N2氮气吹干
|
清洗方式下清洗 | 药液清洗 纯水清洗 |
药液数量 | 1种药液 |
喷嘴类型 | 支持 锥形/扇形/柱形切换 |
回吸要求 | 喷液后回吸正常 |
药液槽 | 1个4L PFA储液罐 |
供药方式 | 氮气压控 |
供液方式 | 原液桶（人工加药）一Tank（自动补药）一腔体 |
原液桶 | 20L氟化桶+加药漏斗 |
Tank桶 | 2个（A B自动切换不间断供药） |
供药流量调节 | PFA手阀 手动调节0-1L/min |
药液流量监控 | 正面1路 |
DI水流量调节 | PFA手阀 手动调节0-1L/min |
氮气吹扫 | 有 |
氮气流量调节 | PFA手阀 0-50L/min |
氮气压力 | 0.3-0.5Mpa，氮气管接口1/4英寸 |
纯水压力 | 0.15-0.3Mpa， 管接口1/4mm |
排水药管 | 2路φ19mm（水 药液分离） |
排风管 | 110mm 腔室排风1路 110mm机台内排风1路 |
显示/控制系统 | 7寸触摸屏+PLC可编程控制器 |
控制程序 | 每步可单独设定转速时间及各个功能开关 摆臂摆动过程中可变速 最大支持8个制程，每个制程可设9个步骤。 |
IO手动功能 | 手动模式下可以单独控制各个轴及功能开关 |
IO监控功能 | 可实时监控各个轴及工功能开关 |
报警记录 | 半年内可查询 |
作业LOG | 半年内可查询 |
净化系统 | FFU高效过滤器U17 电源独立可控 |
管路材料 | PFA |
外壳材料 | PVDF |
电源 | 220V |
整机功率 | 5KW |
外型尺寸（深*宽*高）mm | 长800mm*宽1000mm*高1950mm（以最终图纸为准） |
